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创新应用Applications

光刻机中的智能化控制系统分析

王友旺

（深圳深爱半导体股份有限公司，广东518000）

摘要：阐述光刻机智能化控制系统的关键技术，分析其在芯片制造中的应用前景。通过建模、优化算

法、智能感知与数据采集技术以及人工智能与机器学习的应用，实现光刻过程的自动化与优化。该系统

对于提高生产效率、降低成本和改善产品质量，对芯片制造业发展具有重要意义。

关键词：光刻机，智能化控制系统，集成电路制造。

中图分类号：TN405文章编号：1674-2583(2024)02-0338-03

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2024.02.155

文献引用格式：王友旺.光刻机中的智能化控制系统分析[J].集成电路应用,2024,41(02):338-340.

AnalysisofIntelligentControlSysteminLithography

Machine

WANGYouwang

(ShenzhenShenaiSemiconductorCo.,Ltd.,Guangdong518000,China.)

Abstract—Thispaperdescribesthekeytechnologiesofintelligentco