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表面化学分析深度剖面用中能离子散射法对硅衬底上纳米级重金属氧化物薄膜进行无损深度剖面标准立项发展报告
StandardizationDevelopmentReport:Surfacechemicalanalysis—Depthprofiling—Non-destructivedepthprofilingofnanoscaleheavymetaloxidethinfilmsonSisubstrateswithmediumenergyionscattering
摘要
纳米技术的飞速发展对材料表面及界面分析提出了前所未有的挑战，尤其在半
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