电子材料生产作业规范.docx

电子材料生产作业规范

目录TOC\o1-4\z\u

一、总则 4

二、术语与定义 6

三、适用范围 20

四、原材料要求 21

五、工艺环境要求 23

六、设备与工装要求 27

七、人员管理要求 29

八、配料与称量规范 32

九、混料与分散规范 34

十、涂布与成膜规范 37

十一、压制与成型规范 40

十二、烧结与热处理规范 42

十三、切割与分选规范 45

十四、表面处理规范 47

十五、洁净控制要求 50

十六、过程质量控制 51

十七、检验与测试要求 53

十八、标识与追溯要求 56

十九、

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