CN120129178A 制造装置以及制造方法 （株式会社尼康）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120129178A

(43)申请公布日2025.06.10

(21)申请号202510431081.9

(22)申请日2018.10.22

(30)优先权数据

2017-2280122017.11.28JP

(62)分案原申请数据

201880076998.X2018.10.22

(71)申请人株式会社尼康地址日本

(72)发明人三石创菅谷功

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限

公司11227

专利代理师胡乃锐

(51)Int.Cl.

H05K3/46(2006.01)

权利要求书4页说明书20页附图12页

(54)发明名称

制造装置以及制造方法

(57)摘要

CN120129178A本发明涉及层叠基板的制造方法以及制造装置，制造方法包含：对多个基板中的至少一个进行加工的加工步骤、层叠多个基板来制造层叠基板的层叠步骤、以及基于多个层叠基板各自的多个基板间的位置偏移量来决定修正量的决定步骤，加工步骤以及层叠步骤中的至少一个步骤包含利用修正量来修正在决定步骤之后进行层

CN120129178A

CN120129178A权利要求书1/4页

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1.一