原创力文档射频MEMS器件测试系统设计分析案例
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TOC\o1-3\h\u6618射频MEMS器件测试系统设计分析案例 1
124351.1系统概述及总体方案设计 1
174951.1.1射频MEMS器件测试系统概述 1
260341.1.2射频MEMS测试器件选型 2
323531.2夹具模块设计 3
179201.2.1导电胶夹具设计 3
251661.2.2导电膜仿真 5
315721.3射频MEMS器件测试板设计 7
205171.1.1共面波导（CPWG）模型特性 8
299421.1.2HFSS对SMA的仿
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