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第
41
卷
第
1
期应
用
光
学Vol.
41
No.
1
2020
年
1
月Journal
of
Applied
OpticsJan.
2020
文章编号：1002-2082
(2020)
01-0202-07
高精度半导体激光打标机F-θ镜头设计
李圆圆，王春艳，王志强
（长春理工大学
光电工程学院，吉林
长春
130022）
摘要：为保证半导体激光打标机F-θ镜头的扫描质量，实现系统像高与扫描角的线性变化，需对
F-θ镜头给予一定的畸变量，并使其满足等晕条件。分析F-
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