JJF 1613-2017 掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范.pdfVIP

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JJF 1613-2017 掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范.pdf

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中华人民共和国国家计量技术规范

JJF16132017

掠入射射线反射膜厚测量仪器

X

校准规范

CalibrationSecificationforThinFilmThicknessMeasurement

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InstrumentsbGrazinIncidenceX-RaReflectivit

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2017-02-28发布2017-05-28实施

国家质量监督检验

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