等离子体增强化学气相沉积技术进展.pptVIP

会计学;提要;放电击穿后，气体成为含有一定导电能力的等离子(lízǐ)体，它是一种由离子(lízǐ)、电子及中性原子和原子团组成，而宏观上对外呈现电中性的物质存在形式;各种(ɡèzhǒnɡ)等离子体的电子温度与等离子体密度;等离子体密度?1010/cm3(1/10000的电离率)

等离子体中电子的温度Te?2eV=23000K

离子及中性(zhōngxìng)原子处于低能态，如300?500K

但，等离子体中还存在着大量的活性基团：

离子、原子、激发态的分子和原子、自由基

如:CH4+,C,CH4*,C*,CH3;等离子体(děnglízǐtǐ)和等离子体(děnglízǐtǐ)中的微观过程;等离子体和等离子体中的微观(wēiguān)过程;不同(bùtónɡ)类型的等离子体;等离子体辅助(fǔzhù)化学气相沉积（PECVD);PECVD的主要(zhǔyào)优点;热CVD和等离子体(děnglízǐtǐ)辅助CVD的

典型沉积温度范围;薄膜PECVD低温沉积(chénjī)的主要优点;PECVD过程(guòchéng)中的微观过程(guòchéng);气体分子与电子碰撞，产生出活性基团和离子；活性基