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光电子产品制造技术解析.pptx

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    第2章晶体材料生长;2.1.单晶硅的生长技术;Z;2.1.1晶圆制备（1）获取多晶

    第一阶段：材料准备

    A：矿石到高纯气体的转变

    ①冶炼

    SiO2+C→Si+CO↑

    得到的是冶金级硅，主要杂质：Fe、Al、C、B、P、

    Cu，要进一步提纯。

    ②酸洗

    硅不溶于酸，所以粗硅的初步提纯是用HCl、H2SO4、

    王水，HF等混酸泡洗至Si含量99.7%以上。;③精馏提纯

    将酸洗过的硅转化为SiHCl3或SiCl4，

    Si+3HCl（g气体）→SiHCl3↑+H2↑

    Si+2Cl2→SiCl4↑

    好处：

    常温下SiHCl3与Si

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