基于RIE副产物构筑三维SERS衬底及机器学习辅助光谱分析.pdf

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Abstract

摘要

表面增强拉曼散射(Surface-EnhancedRamanScattering,SERS)是一种具备

分子指纹识别特性的高灵敏度光谱分析技术,凭借其独特的分子指纹识别能力、

极高的检测灵敏度及优异的分子选择性,在环境监测、生物传感、食品安全、药

物分析等多个领域展现出广阔的应用前景。SERS检测性能的核心取决于衬底表

面电磁热点的密度、强度及空间分布,而电磁热点的形成与衬底表面形貌密切相

关。

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