CN120252586A 硅片测量装置及其工作方法 （西安奕斯伟材料科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120252586A

(43)申请公布日2025.07.04

(21)申请号202510399227.6

(22)申请日2025.04.01

(71)申请人西安奕斯伟材料科技股份有限公司

地址710000陕西省西安市高新区西沣南

路1888号1-3-029室

申请人西安欣芯材料科技有限公司

(72)发明人万珣蒙亮亮王雷

(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限

公司11243

专利代理师张博

(51)Int.Cl.

G01B11/30(2006.01)

H01L21/66(2006.01)

G01B11/24(2006.01)