原创力文档电子级水
1范围
本文件规定了电子或半导体工业制造等电子信息产业用电子级水的分类、技术要求、试验方法和检
验规则。
本文件适用于半导体器件、电子元件及相关产品制造过程中所有湿法工艺所用高纯清洗用水的质量
管控。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，
仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本
文件。
GB/T11446.3电子级水测试方法通则
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