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MEMS谐振器典型结构与原理概述

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TOC\o1-3\h\u9430MEMS谐振器典型结构与原理概述 1

294821.1MEMS谐振器典型结构 1

91561.2微机械谐振器的驱动与检测 4

1.1MEMS谐振器典型结构

微谐振器按照加工工艺、制作材料、驱动及检测方式、振动方向、支撑方式、工作模态、谐振频率的频段的不同可以分为多种类型。下面简单介绍几种典型结构的MEMS谐振器。

1.1.1MEMS谐振器材料

微机械谐振器可以由制作材料分为单晶硅谐振器,多晶硅谐振器,碳化硅谐振器,多晶铐化硅谐振器,金刚石谐振器等。由于硅材料力学性能稳定，没有机械退滞，并且其材料制备和加工工艺成熟，且与多晶硅相比，单晶硅具有更小的材料内摩阻损失和更低的内部应力，因而单晶硅微机械谐振器具有更高的Q值，是制作微机械谐振器的理想材料。所以本文使用单晶硅作为谐振器材料仿真。

1.1.2微梁谐振器

微两端固支梁谐振器或微悬臂梁谐振器被广泛应用于微传感或驱动系统的核心关键组件。微梁谐振器相对简单的结构形状使其在设计和加工方面有着非常大的优势。广泛应用于诸如平均残余应力测量、杨氏模量测定、显微镜、安装表面健康监测系统、质量流传感器到分子生物或DNA分析等[22]。梁谐振器工作模态一般为弯曲模态，而纵向振动的杆谐振器工作模态为体模态，本文部分研究内容便是纵向振动的杆谐振