原创力文档撬装式电子级化学品输送装置设计规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 3
二、系统构成 5
三、设计目标 9
四、适用边界 11
五、工艺流程 13
六、物料特性要求 16
七、洁净等级要求 18
八、材料选型原则 20
九、管路系统设计 22
十、阀门与接头设计 25
十一、泵组与输送单元 28
十二、过滤与纯化单元 31
十三、储存与缓冲单元 32
十四、计量与控制系统 36
十五、仪表配置要求 39
十六、密封与防泄漏设计 42
十七、排放与回收设计 43
十八、温控与保温设计 47
十九、
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