微机电系统概述与进展.pptVIP

微电子机械系统工程导论

AnIntroductiontoMicro-Electro-MechanicalSystemsEngineering;MEMS教育部重点试验室介绍;Etchratediagramofsilicon;IntegratedCMOSanemometer;Microfluidics;;自行研制的微型碱金属腔照片;5mm;多样化的玻璃微结构;尺寸可调(几百微米-几毫米)

圆片级制备;技术基础-3：系统级封装基板埋入技术（SIP+Embeded）;基板工艺线;前期研究项目;MEMS教育部重点试验室介绍;本课教材和内容;课程内容安排-1

课堂教学;课程内容安排-2

研讨教学;课程内容安排-3续

研讨教学;考评方法;第一章、绪论;MEMS的准确定义;MEMS系统;MEMS的尺度

;MEMS的特点;MEMS的四次商业化浪潮

1970s的通过大型蚀刻硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感器

1990s的MEMS红外探测、Si加速度计、数字微镜、射频MEMS、生物MEMS等器件的问世

年，微光学器件、微流体系统、MEMS三维微结构、IT传感等众多MEMS产品进入市场

第四轮商业化涉及某些面向射频无源元件、在硅片上制作的音频、生物和神经元探针，以及所谓的片上试验室生化药品开发系统和微型药品输送系统的静态和移动器件。;与IC的