ISO 2：2025 真空技术.真空计.旋转转子计的规范、校准和测量不确定度标准立项发展报告.docxVIP

真空技术真空计旋转转子计的规范、校准和测量不确定度标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:VacuumTechnology—VacuumGauges—Specifications,CalibrationandMeasurementUncertaintiesforSpinningRotorGauges

摘要

关键词：真空技术；旋转转子计；校准规范；测量不确定度；真空计量；国际标准；ISO24477

Keywords:Vacuumtechnology;Spinningrotorgauge;Calibrationspecification;Measurementuncertainty;Vacuummetrology;Internationalstandard;ISO24477

一、引言

1.1标准立项的背景与意义

旋转转子计（SRG）自1960年代由J.K.Fremerey在德国于利希研究中心发明以来，凭借其基于转子转速衰减进行压力测量的物理机制，在10?1Pa至10??Pa的压力范围内提供了其他真空计难以比拟的测量重复性和长期稳定性。与热传导真空计和电离真空计不同，旋转转子计的测量原理基于气体分子与高速旋转钢球的动量交换，属于非破坏性、非消耗性的绝对测量方法，其测