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三氯化镓行业标准修订研究报告

ResearchReportontheRevisionoftheIndustryStandardforGalliumTrichloride

摘要

三氯化镓（GaCl?）作为新一代半导体材料——高纯镓化合物的核心前驱体，在第三代半导体氮化镓（GaN）、化合物半导体光电子器件及高纯金属镓制备等领域具有不可替代的战略地位。随着我国半导体产业的高速发展及新材料技术路线的持续演进，原有YS/T1659-2023行业标准已难以满足产业升级对产品纯度、分析方法及检验规则等方面提出的更高要求。本报告基于全国有色金属标准化技术委员会及全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会联合下达的标准修订计划（项目编号：2024-0075T-YS），系统分析了三氯化镓产品标准的修订背景、技术要点及产业价值。报告重点阐述了修订工作的主要技术内容，包括纯度等级划分的精细化、杂质元素检测方法的现代化、包装贮运规范的安全化等核心维度，并对主要起草单位广东先导微电子科技有限公司的技术实力与行业贡献进行了详细介绍。本报告认为，该标准的修订对于完善我国半导体材料标准体系、推动高纯金属化合物材料产业高质量发展、保障产业链供应链安全具有重要的现实意义和深远的战略价值。

关键词

行业标准；标准化；技术规范

Abstract

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