CN119622489A 一种使用支持向量机的半导体材料杂质检测方法 （中科芯数(深圳)科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119622489A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202411682080.3

(22)申请日2024.11.22

(71)申请人中科芯数（深圳）科技有限公司

地址518110广东省深圳市龙华区观湖街

道松元厦社区上围新村68号2A-18

(72)发明人汪李华王云莉

(74)专利代理机构合肥北极牛知识产权代理事

务所(特殊普通合伙)34239

专利代理师贾子彬

(51)Int.Cl.

G06F18/2411(2023.01)

G06F18/10(2023.01)

G06F18/213(2023.01)

G06F18/214