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非金属建材-静电卡盘七问七答，聚焦半导体核心部件与材料（一）.pdfVIP

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  • 2026-08-21 发布于北京
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非金属建材-静电卡盘七问七答，聚焦半导体核心部件与材料（一）.pdf

    投资逻辑：

    静电卡盘是半导体真空等离子工艺不可或缺的晶圆核心承载部件，功能具备不可替代性。产品依靠静电吸附效应无损

    伤夹持超薄晶圆，集成多区温控、氦气导热结构，整体由陶瓷盘面、电极、加热组件、支撑底板四大模块构成，广泛

    配套刻蚀、薄膜沉积、离子注入等核心半导体设备腔体。

    静电卡盘属于亟待国产替代的高价值核心陶瓷零部件，在晶圆制造环节地位关键。它能够规避传统机械夹持造成的晶

    圆划伤、颗粒污染、片体偏移问题，温控与等离子调控能力直接

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