碳化硅生产工艺全流程详解.pdfVIP

碳化硅的生产工艺和投资估算

碳化硅是人工合成的材料，其化学计量成分以克分子计:Si50%、C50%以质量计：Si

70.04%、C29。96%，相对分子质量为40。09。

碳化硅有两种晶形：β—碳化硅类似闪锌矿结构的等轴晶系；α-碳化硅则为晶体排列致

iO食盐木屑L上部中部下部一般合成碳化硅的配料见表表合成碳化硅的配料配料硅质材料绿SiC黑SiC配料食盐绿SiC黑SiC炭质材料木屑非晶材料未反应料在碳化硅的生产过程中回炉料的要求包括无定形料二级料应满足下列SiCSiOSi固定碳杂质焙烧料

密的六方晶系。β—碳化硅约在2100℃转变为α-碳化硅.

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碳化硅的物理性能：真密度α型3.22g/cm、β型3。21g/cm，莫氏硬度9。2,线膨胀系

数为（4。7～5。0）×10—6/℃,热导率（20℃）41.76W/（m·K），电阻率(50℃)50Ω·cm，1000℃

2Ω·