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硅基光波导材料的光学特性优化与低损耗传输研究

摘要

本报告聚焦硅基光波导材料领域，系统研究其光学特性优化路径与低损耗传输实现方案。硅基光子集成技术作为后摩尔时代的关键突破方向，其核心瓶颈在于光波导的传输损耗控制。报告以散射损耗与吸收损耗两大损耗机制为切入点，深入分析其物理根源与影响因素，并全面探讨工艺优化降低波导损耗的系统性方法。

研究范围覆盖绝缘体上硅（SOI）平台的主流波导结构，时间跨度涵盖近十年技术演进，地理覆盖以全球主要研究机构与产业力量为对象。核心发现表明，硅基光波导的传输损耗已从早期的3-5dB/cm降至当前最优的0.1dB/cm量级，其中侧壁粗糙度诱导的散射