ISO 25178-604：2025 几何产品规范(GPS) 表面纹理面积 第604部分非接触（相干扫描干涉测量）仪器的设计和特性标准立项发展报告.docxVIP

几何产品规范(GPS)表面纹理:面积第604部分:非接触（相干扫描干涉测量）仪器的设计和特性标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:GeometricalProductSpecifications(GPS)—SurfaceTexture:Areal—Part604:DesignandCharacteristicsofNon-Contact(CoherenceScanningInterferometry)Instruments

摘要

随着先进制造业对精密表面测量精度和效率要求的持续提升，非接触式光学测量技术已成为表面纹理计量领域的核心手段之一。相干扫描干涉测量（CoherenceScanningInterferometry,CSI）技术以其纳米级垂直分辨率和非破坏性测量优势，在半导体、光学元件、精密机械及生物医学工程等领域获得广泛应用。ISO25178-604:2025《几何产品规范(GPS)表面纹理:面积第604部分:非接触（相干扫描干涉测量）仪器的设计和特性》由国际标准化组织（ISO）正式发布，是ISO25178系列标准中针对相干扫描干涉测量仪器的重要规范性文件。本报告系统阐述该标准的立项背景、技术内容框架、核心规范要求及其对产业发展的支撑作用，分析该标准与GPS矩阵体系的