原创力文档表面化学分析——辉光放电发射光谱法分析金属氧化物薄膜标准立项发展报告
StandardizationDevelopmentReport:SurfaceChemicalAnalysis—AnalysisofMetalOxideFilmsbyGlowDischargeOpticalEmissionSpectrometry
摘要
随着功能薄膜材料在光电、催化、能源及信息技术等领域的广泛应用，金属氧化物薄膜的化学成分与结构表征需求日益迫切。辉光放电发射光谱法（GlowDischargeOpticalEmissionSpectrometry,GD-OES）
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