ISO 25178-603：2025 几何产品规范（GPS） 表面纹理面积 第603部分非接触（相移干涉测量）仪器的设计和特性标准立项发展报告.docxVIP

几何产品规范（GPS）表面纹理:面积第603部分:非接触（相移干涉测量）仪器的设计和特性标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Geometricalproductspecifications(GPS)—Surfacetexture:Areal—Part603:Designandcharacteristicsofnon-contact(phaseshiftinginterferometry)instruments

摘要

随着高端制造、精密光学、半导体及微机电系统等领域的快速发展，微观表面形貌的精确测量已成为保障产品质量与功能性能的关键环节。在众多表面纹理测量技术中，非接触式相移干涉测量技术以其纳米级垂直分辨率、非破坏性、测量速度快等优势，在精密制造领域获得了广泛应用。然而，不同制造商生产的相移干涉测量仪器在光学设计、相移算法、抗振性能及校准方法上存在显著差异，导致测量结果的一致性和可比性面临严峻挑战。为应对这一行业需求，国际标准化组织（ISO）于2025年2月14日正式发布ISO25178-603:2025标准，该标准作为ISO25178（几何产品规范—表面纹理:面积）系列标准的重要组成部分，系统规定了非接触（相移干涉测量）仪器的设计要求、特性参数、校准规范及测试方法。本报告全面分析该标