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实验15椭圆偏振仪测薄膜厚度与折射率实用指导.pdf

实验15椭圆偏振仪测薄膜厚度与折射率实用指导.pdf

    实验15椭圆偏振仪测量

    薄膜厚度和折射率

    在近代科学技术的许多部门中对各种薄膜的研究和应用日

    和厚度已知衬底硅的复折射率为ni取入射角二氧化硅膜只有实部膜厚在第一周期内测出和后利用列线图或数值表和计算机求出n和d将两种方法的结果进行对比并计算膜的一个周期厚度值d测量玻璃衬底上氟化镁MgF膜层的折射率和厚度测玻璃的折射率首先测出无膜时

    益广泛．因此，更加精确和迅速地测定一给定薄膜的光学参数已

    变得更加迫切和重要．在实际工作中虽然可以利用各种传统的方

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