真空蒸镀机培训.pptx

真空蒸镀机培训

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目录

开机准备与启动流程

设备原理与结构

2

1

安全操作与停机规程

生产操作规范

4

3

日常维护与保养

5

设备原理与结构

01

真空蒸镀基本原理

真空环境必要性

真空蒸镀需在10⁻³至10⁻⁶Pa的高真空环境下进行，以消除气体分子对金属蒸气的干扰，确保金属原子自由运动并均匀沉积在基材表面，避免氧化或杂质掺杂。

通过电阻加热、电子束轰击或感应加热等方式使金属源升温至蒸发点，金属原子或分子从固态直接气化，形成定向蒸气流，在基材表面冷凝成膜。

薄膜生长动力学

金属蒸气在基材表面的成膜过程包括吸附、扩散、成核及晶粒生长四个阶段，需控制蒸发速率和基材温度以获得致