CN119189085A 一种晶圆片切割液的控制方法 （中环领先半导体科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119189085A

(43)申请公布日2024.12.27

(21)申请号202411620286.3

(22)申请日2024.11.13

(71)申请人中环领先半导体科技股份有限公司

地址214000江苏省无锡市宜兴经济技术

开发区东氿大道

(72)发明人李晓宝刘姣龙袁祥龙刘建伟

郭红慧

(74)专利代理机构天津诺德知识产权代理事务

所(特殊普通合伙)12213

专利代理师栾志超

(51)Int.Cl.

B28D5/04(2006.01)

B28D7/02(2006.01)

B28D7/00(2006.01)