扫描电镜综述及最新发展应用解析.pdfVIP

扫描电镜的综述及发展

1扫描电镜的原理

释察而在普通高真空扫描电镜和低真空扫描电镜中只能对极少数特殊样品在高温状态下进行观察并要求在加热过程中不能产生气体不能发出可见光和红外辐射否则会破坏电镜的真空并且二次电子图像噪音严重乃至根本无法成像高温台配有专用陶瓷GSED气体二次电子探头

ScanningElectronMicroscopeSEM）

扫描电镜（简写为是一个复杂的系统，浓缩

了电子光学技术、真空技术、精细机械结构以及现代计算机控制技术。成像是采用二

次电子或背散射电子等工作方式，随着扫描电镜的发展和应用的拓展，相继发展了宏

观断口学和显微断口学。

扫描电镜是在加速高压作用下将电子枪发射的电子经过多级电磁透镜汇集成细小

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（直径一般为1~5nm）的电子束（相应束流为10~10A）