磁控溅射制备cdo基透明薄膜性能优化.docx

摘要：材料学的发展是推动人类进步的重要一环，而在近四十年来，在材料学中，透明导电薄膜的无疑是其中发展最迅猛的一个，在最初的时候，人们认为透明的物质一般是不导电的，而导电性能良好的物质，一般情况下，又是不透明的。随着透明导电薄膜的出现，打破了这一固有认知，在透明导电薄膜中CdO薄膜由于其成本低、载流子浓度高等优点，受到了科学家们的青睐，磁控溅射制备薄膜在薄膜领域有着广泛的应用，提升CdO基薄膜的性能对于薄膜研究有很大的作用。

在之前研究人员的成果下，介绍磁控溅射制备薄膜原理和制备CdO的过程，并试验在不同的制备条件下，CdO薄膜的导电率、透过率和成本。

关键词：氧化镉、磁控溅射、透