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单晶硅制备工艺分析与优化案例分析
目录
TOC\o1-3\h\u1435单晶硅制备工艺分析与优化案例分析 1
263621.1单晶炉的优化设计 1
309211.1.1单晶炉高温变形的优化设计 2
295751.1.2单晶炉真空系统的设计优化 3
156071.1.3单晶炉运动系统设计优化 5
54021.2制备工艺技术优化设计 5
28251.2.3重复加料技术的优化 6
69511.2.4利用磁场提高单晶硅的品质 6
1.1单晶炉的优化设计
上世纪80年代后，我国半导体行业迅速发展，
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