光致发光光谱仪测试外延片PL波长测试方法.pdfVIP

GB/TXXXX—2025

附录A

(规范性)

光致发光光谱仪测试外延片PL波长测试方法

A.1测量仪器

光致发光光谱仪，简称PLmapping。

A.2测量原理

当一束光源经过透镜照射到外延片某点时，通过产生光生载流子，在外延片某点内部弛

豫、扩散，然后发生辐射复合发光；通过单色仪测量这个点的发光波长并通过探测器记录就

得到了外延片此点的PL波长和强度。然后通过自动控制移动光源或者外延片的移动，实现

对整个外延片的PL波长及强度测量。

A.3测试条件

除另有规定外，应在下列条件下进行测量:

a)温度:23℃±3℃；

b)相对湿度:40%～60%；

c)测试房间洁净度在万级及以上;

d)测试区域无明显振动源、无强电磁干扰、无强光直射。

A.4样品说明

a)测试前应确定样品表面无外来污染；

b)部分特殊样品测试前需，采用腐蚀工艺