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2026年薄膜材料与技术薄膜表征技术试卷

考试时间：______分钟总分：______分姓名：______

率受探测器限制透射电子显微镜TEM获取样品衍射斑点的原理是当一束具有较高能量的电子束穿过薄样品时如果样品中存在周期性结构如晶体电子会发生衍射偏离原始入射方向在样品后方的屏或探测器上可以观察到这些究薄膜的化学结构如鉴定官能团可以测量薄膜的光学

一、选择题（每题2分，共20分。下列每小题均有多个正确选项，请将正确选

项的字母代号填写在题干后的括号内。多选、错选、漏选均不得分。）

1.下列哪些技术属于利用电子与物质相互作用进行薄膜表征的方法？（）

A.紫外可见吸收光谱（UV-Vis）

B.透射电子显微镜（TEM）

C.X射线光电子能谱（XPS）

D.原子力显微镜（AFM）

E.能量色散X射线光谱（EDS）

量如结晶度晶粒尺寸取向均匀性和是否存在杂质相或应力这是半导体器件性能的关键因素通过TEM获得的信息可以评价薄膜的晶体缺陷密度和类型缺陷可能影响载流子迁移率通过SEM获得的信息可以评价薄膜的表面均