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存储芯片中试车间建设设计.docx

存储芯片中试车间建设设计.docx

    存储芯片中试车间建设设计

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、存储芯片工艺流程规划与技术路线 2

    二、中试车间总体布局与功能分区设计 4

    三、洁净室等级划分与环境控制系统设计 8

    四、工艺用电系统与电力保障方案设计 10

    五、工艺气体与化学品供应系统建设设计 13

    六、特种水处理与废水处理工艺设计 16

    七、工业真空与特种环境控制系统设计 19

    八、洁净空调与暖湿风控制系统规划 22

    九、中试设备选型与工艺集成方案设计 25

    十、中试制造执行系统与信息控制平台设计 28

    十一、中试数据采集与中控分析平台建设 31

    十二、生产安全防护

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