GBT 31987-2026 电子气体 锗烷标准立项发展报告.docxVIP

电子气体锗烷标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:ElectronicGas—Germane

摘要

关键词：电子气体；锗烷；国家标准；半导体材料；高纯气体；标准化

Keywords:ElectronicGas;Germane;NationalStandard;SemiconductorMaterials;HighPurityGas;Standardization

1引言

1.1研究背景

电子气体被誉为半导体产业的“血液”，其在集成电路制造、平板显示、太阳能电池等领域的应用贯穿整个生产过程。从外延生长、化学气相沉积（CVD）、离子注入到刻蚀、清洗等关键工艺环节，电子气体直接决定了芯片的性能、良率与可靠性。近年来，在国际地缘政治复杂多变、全球半导体产业链深度重构的大背景下，我国集成电路产业对关键材料自主可控的需求日益迫切。电子特气作为半导体材料中纯度和洁净度要求最高的品类之一，其国产化进程直接关系到我国半导体产业链的整体安全。

锗烷（化学式GeH?，英文名Germane）是一种无色、具有特殊刺激性气味的易燃有毒气体，在空气中能自燃，是重要的电子特种气体之一。在半导体制造中，锗烷主要用作硅锗（SiGe）外延生长的锗源，广泛应用于高速晶体管（HBT）、异质结双极晶体管、动态随机存取存储器（DRAM）电容器的应