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蓝宝石晶片研磨用团簇复合磨料制备及加工性能研究.pdf

蓝宝石晶片研磨用团簇复合磨料制备及加工性能研究.pdf

    摘要

    蓝宝石因其卓越的透光率、热稳定性和耐化学腐蚀性，被广泛用于各个领域，包

    括国防、军事、5G通信、人工智能、医疗保健和发光二极管等。由于其高硬度，高脆

    性和相对稳定的化学性质，被视为典型难被加工材料。为了提高对蓝宝石的加工效率，

    本文提出一种团簇复合磨料摩擦化学机械抛光蓝宝石新方法，通过形貌检测、摩擦试

    验、元素检测以及粒径分析等多种方式对试验结果进行表征。以材料去除率和表面质

    量为评价指标，研究了金刚石含量、结合剂含量以及转速等因素对磨料加工性能的影

    响，并对加工机理进行了深入探讨。

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