原创力文档摘要
钛合金因其杰出的机械强度、优异的耐腐蚀性和良好的生物相容性被广泛用于医疗领域
的人工骨骼和植入物等方面。化学机械抛光技术因其可以实现全局平坦化的能力被用于钛合
金的加工过程中，然而，传统的化学机械抛光液采用的大都是腐蚀性较强的化学试剂，这不
仅会对环境造成污染，同时也会影响操作人员的身体健康。为此，本研究制备了一种由二氧
化硅颗粒、柠檬酸、模拟Hanks溶液等组成的新型低毒环保抛光液对钛合金表面进行处理。
以材料去除率、表面粗糙度和摩擦系数为评价指标，分析了抛光液对工件的加工性能。并
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