CN119275160A 一种晶圆对准装置和晶圆键合方法 (拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司).pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约1.86万字
  • 约 16页
  • 2026-09-09 发布于重庆
  • 举报

CN119275160A 一种晶圆对准装置和晶圆键合方法 (拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119275160A

(43)申请公布日2025.01.07

(21)申请号202411586009.5

(22)申请日2024.11.07

(71)申请人拓荆键科(海宁)半导体设备有限公

地址314499浙江省嘉兴市海宁市海宁经

济开发区芯中路8号3幢

(72)发明人王晨李璇

(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公

司31100

专利代理师徐伟

(51)Int.Cl.

H01L21/68(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

权利要求书2页说明书9页附

您可能关注的文档

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档