实验方案与优化准则探究.pptVIP

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  • 2026-09-09 发布于北京
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会计学1试验(shìyàn)设计和设计准则第一页,共20页。第1页

先从一种简单的试验开始:

生产集成电路(jíchéng-diànlù)的一种初始环节是产生晶体外延层。试验中有三个地方需要配备:感应旋转方法、喷咀位置、沉积温度,每个地方有两种配备方法。也即有三个因子,每个因子两个水平。 试验人员希望找出最好的配备,使得产生的外延层厚度尽可能接近15.4毫米。第1页/共19页第二页,共20页。第2页

为此,试验人员在每一种可能的设置下(2的3次方,共8种可能)做5次试验,共40次试验。上述(shàngshù)试验叫做“完全因析试验”,我们能够用五次试验距离目标值差距的平方和作为响应变量,建立回归模型,并进行方差分析。第2页/共19页第三页,共20页。第3页

模型方程是:上述参数(cānshù)叫做回归方程的系数,在试验设计中,也叫因子的效应。第3页/共19页第四页,共20页。第4页

普通(yībān)的分析方法:最小二乘预计回归(huíguī)分析中的变量筛选正态图、半正态图F检验效应是否显著依据显著的回归(huíguī)系数确定因子水平第4页/共19页第五页,共20页。第5页

这个试验有三个因子,每个水平下重复5次,共有40次试验。但在稍微复杂一点的试验中,因子数往往有8-10个,甚至更多,那时虽然没有重复,试验次数也已经数百、上千,这在很多情形下(如农业试验有很长的周期,

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