原创力文档2026全球碳化硅外延设备技术路线演进及资本开支回报周期研报
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TOC\o1-3\h\z\u16815摘要 3
2112一、全球碳化硅外延设备政策图谱与战略导向梳理 5
59251.1主要经济体半导体供应链安全与本土化补贴政策比对 5
189081.2碳中和目标下宽禁带半导体能效标准与绿色制造法规 9
158561.3跨行业类比光伏产业政策周期对外延设备扶持节奏的启示 13
32188二、技术路线演进中的可持续发展合规性评估 16
266752.1高温CVD工艺能耗碳排放核算与国际环保准入壁垒 16
290352.2设备全生命周期
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