GBT 47752-2026 微机电系统（MEMS）技术 柔性微机电器件循环弯曲变形后电气特性测试方法标准立项发展报告.docx

微机电系统（MEMS）技术柔性微机电器件循环弯曲变形后电气特性测试方法

StandardizationDevelopmentReport:TestMethodforElectricalCharacteristicsofFlexibleMEMSDevicesafterCyclicBendingDeformation

摘要

关键词：微机电系统；柔性微机电器件；循环弯曲变形；电气特性测试；标准制定；可靠性评价

Keywords:MEMS;FlexibleMEMSDevices;CyclicBendingDeformation;ElectricalCh