双材料悬臂焦平面阵列性能优化研究.pdfVIP

T2B.005｜end▁of▁sentence｜

双材料悬臂焦平面阵列性能提升通过超材料吸收器｜end▁of▁sentence｜

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W.,Y.文,X.于*,X.和Y.赵北京大学微电子，微纳加工技术国

家重点，北京，100871，2北京理工大学光电学院，北京，｜end▁

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｜end▁of▁sentence｜由于在8至14μ微米波长范围内的高吸收率，双材料悬臂焦平

本文提出了一种新型红外（IR）焦平面阵列（面阵列的制造[2],但随着层厚度的减小以追求更高的热机械灵

FPA），集成了超材料吸收器（MMA）以提升其性能。敏度，吸收率急剧下降。｜end▁of▁sentence｜

该FPA由双材料悬臂梁组成，通过聚酰亚胺（PI）牺牲C.

Jones

等人[7]利用16纳米厚的TiW合金来增强双材

层工艺在玻璃基板上制造，从而允许从背面进行光学读料悬臂焦平面阵列的红外吸收，但金属薄膜的沉积与锗

取。这种入射I