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- 2026-09-13 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119645018A
(43)申请公布日2025.03.18
(21)申请号202411563981.0G05D1/644(2024.01)
G05D1/648(2024.01)
(22)申请日2024.11.05
G05D109/10(2024.01)
(71)申请人中能兴盛（香河）半导体精密制造有
限公司
地址065402河北省廊坊市香河县开发区
香明路2号
(72)发明人李端科张利李浩毅王剑刚
(74)
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