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基于应变晶体管高稳健性微压传感器研究.pdfVIP

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  • 2026-09-18 发布于北京
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基于应变晶体管高稳健性微压传感器研究.pdf

    T1A.007

    面向稳健温度行为的直接集成应变传感器

    12122

    S.

    Haas*、M.

    Schramm,、D.

    Reuter,、K.‑U.

    Loebel,、J.

    T.

    Horstmann,和T.

    112

    Gessner德国开姆尼茨工业大学微技术，开姆尼茨，德国德国开姆尼茨工业大学微纳米

    技术电子元件，

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