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基于谐振腔激光多次反射的镜面反射率测量方法研究.pdf

基于谐振腔激光多次反射的镜面反射率测量方法研究.pdf

    摘要

    反射镜是光学仪器的常用元件，反射率作为其关键参数，直接影响光学系统的成像

    质量及功能实现。表面划痕和环境中灰尘、化学污染物沉积均会导致镜面反射率下降。

    因此，定期检测镜面不同位置的反射率分布与变化，对维持设备稳定运行十分必要。目

    前，镜面不同位置反射率主要采用单次反射法结合多种扫描方式进行测量，但是单次反

    射法受随机误差影响较大。传统多次反射法减少了测量随机误差的影响，但镜面光斑覆

    盖范围大，不利于测量镜面不同位置的反射率。

    本文提出基于谐振腔多次反射测量镜面不同位置反射率的方法。以标

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