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半导体芯片生产能源管理体系手册
目录TOC\o1-4\z\u
一、半导体生产能源管理体系总述 4
二、能源管理组织架构与职责分配 7
三、能源管理目标与绩效指标设定 9
四、能源评审识别与基准建立 13
五、半导体生产工艺能源流特性分析 15
六、关键生产设备能耗监测与监控 18
七、洁净室环境系统节能优化方案 21
八、工业水冷却系统节约技术措施 23
九、特气与化学能源系统高效管控 25
十、动力用电与余热回收利用管理 28
十一、能源计量体系规划与设备维护 31
十二、能耗数据采集与数字化分析平台 37
十三、
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