CN119028797A 等离子刻蚀装置及等离子刻蚀方法 （上海邦芯半导体科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119028797A

(43)申请公布日2024.11.26

(21)申请号202411506421.1

(22)申请日2024.10.28

(71)申请人上海邦芯半导体科技有限公司

地址201306上海市浦东新区自由贸易试

验区临港新片区平霄路358号7号厂

房、9号厂房

(72)发明人张朋兵王兆祥梁洁涂乐义

李可唐乐顾橙蕾

(74)专利代理机构上海熠涧知识产权代理有限

公司31442

专利代理师樊文娜林高锋

(51)Int.Cl.

H01J37/32(2006.01)

H01L21/67(2006.01)