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- 2026-09-21 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119042529A
(43)申请公布日2024.11.29
(21)申请号202411529556.X
(22)申请日2024.10.30
(71)申请人苏州中科重仪半导体材料有限公司
地址215000江苏省苏州市吴江区江陵街
道龙桥路1368号青禾创客五楼503室
(72)发明人李锐罗敏捷张浩
(74)专利代理机构苏州汇智联科知识产权代理
有限公司32535
专利代理师董林利
(51)Int.Cl.
F17D1/02(2006.01)
F17D3/01(2006.01)
F17D5/00(2006.01)
C23C16/52(2006.01)
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