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SEMIE37-2022中文版高速SECS消息服务通用服务规范

SEMIE37-2022《高速SECS消息服务通用服务规范（HSMS）》是半导体、光伏、显示面板、高端智能制造领域设备通信高速传输的核心基础性国际标准，由国际半导体设备与材料协会（SEMI）正式发布并迭代更新，是当前工业晶圆厂、先进封装产线、自动化智造车间设备互联互通、高速数据交互、设备管控、产线集成的底层通信基准规范。本标准作为SECS/GEM整套设备通信体系的传输层核心支柱，完全替代传统SEMIE4（SECS-I）串口低速通信协议，基于TCP/IP以太网架构实现SECS-II消息的高速、可靠、低时延传输，彻底解决了传统串口通信速率低、拓扑单一、扩展性差、无法适配先进制程高并发数据交互的行业痛点，是当前全球半导体智能制造设备通信的通用底层标准。

在SEMI智能制造标准体系中，SEMIE37-2022具备不可替代的设备通信统领地位。区别于侧重消息语义定义的SEMIE5（SECS-II）、侧重设备通用控制模型的SEMIE30（GEM），本标准聚焦底层传输链路、会话管理、消息封装、通信容错、高速交互机制，不定义业务指令与设备逻辑，只为所有SECS业务消息提供标准化、高速化、稳定化的传输通道，是打通设备与主机、设备与设备、产线与MES/EAP系统数据交互的核心基石。标准广泛适配8英寸、12英寸晶圆制