CN119400694A 半浮栅器件的制造方法 （上海华力集成电路制造有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119400694A

(43)申请公布日2025.02.07

(21)申请号202411525046.5

(22)申请日2024.10.29

(71)申请人上海华力集成电路制造有限公司

地址201203上海市浦东新区康桥东路298

号1幢1060室

(72)发明人姜兰

(74)专利代理机构上海浦一知识产权代理有限

公司31211

专利代理师郭四华

(51)Int.Cl.

H01L21/28(2025.01)

H10D64/01(2025.01)

H10B41/35(2023.01)

H10D64/66(2025.01)

H10D64