CN119392351A 单晶硅的生产装置、制备方法、单晶硅以及绝缘栅双极晶体管 （上海超硅半导体股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119392351A

(43)申请公布日2025.02.07

(21)申请号202411504742.8H10D12/00(2025.01)

(22)申请日2024.10.26

(71)申请人上海超硅半导体股份有限公司

地址201616上海市松江区鼎松路150弄1-

15号

申请人重庆超硅半导体有限公司

(72)发明人梁永立沈思情陈猛

(74)专利代理机构上海盈盛知识产权代理事务

所(普通合伙)31294

专利代理师赵娟娟

(51)Int.Cl.

C30B15/00(2006.01)

C30B15/20(2006.